韓國PKC擴建群山工廠半導體氯氣產能提升50%
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⑴ 韓國化學企業PKC已啟動其群山工廠半導體氯氣產能擴建工程,產能將提升50%。⑵ 年產能將從目前的1400至1500噸提升至2100至2200噸。⑶ 此次投資是在事先與三星電子協商後決定的,規模達數百億韓元。⑷ 擴建的驅動因素是高密度NAND快閃記憶體堆疊所需的蝕刻氣體需求激增,以及三星電子要求擴大氯化氫的供應。氯化氫常用於半導體晶圓清洗和蝕刻工藝,其通過氯氣與氫氣反應生成。
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